mocvd

mocvd工艺流程

MOCVD（金属有机化学气相沉积）是一种用于生长薄膜的工艺，它通过将金属有机化合物和气相反应源物质在高温下分解，使金属原子沉积在衬底上，形成薄膜。该工艺流程包括...